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上海微松取得晶圆出产转运设备专利保障晶圆摆

发布时间:2025-03-14 13:24

  

  金融界2024年12月26日动静,国度学问产权局消息显示,申请日期为 2024 年 2 月。专利摘要显示,本申请涉及晶圆输送设备范畴,特别是涉及一种晶圆出产转运的设备,所述机箱内设无机械臂,所述机箱外侧设有储料台,所述机械臂用于将晶圆搬运至所述储料台长进行暂存;所述储料台的顶部加设有定位组件,所述定位组件用于对所述储料台上的晶圆进行定位。叠加正在一路的晶圆可以或许摆放划一,相邻晶圆之间不存正在等问题,进而便于后续对叠加正在一路的晶圆进行全体的转运。